[Teddybear]

Сообщение от Миша Ложкин

Кажется, в бывшем СССР такого не было придумано и, тем паче, построено.

Это вам, батенька действительно кажется..

In the early 1960s, at the Westinghouse Laboratories in Pittsburgh, Wells, Everhart, Matta and others built an advanced SEM for semiconductor studies and microfabrication and demonstrated EBIC imaging (Wells et al. 1965). And in the USSR there was an SEM at Moscow University from about 1960 (Kushnir et al.).

http://www-g.eng.cam.ac.uk/125/achie...mullan/mcm.htm