Цитата:
Сообщение от OldFinn
Спектраш, олух ты в кусе что такое литограф?
|
Не буянь, призрак отца Гамлета.
https://pikabu.ru/story/tekhnologiya..._28_nm_9014229
Теория или реальность
МИЭТ, основываясь на российских разработках, получил госконтракт стоимостью 670 млн рублей на создание технологии и макетов масок, техзадание и техническо-экономическое обоснование первого образца литографа. Все работы планируют завершить в ноябре этого года. То есть к созданию опытного образца, возможно, приступят уже в начале 2023 года. Промышленный выпуск, по прогнозам, начнется примерно через 5 лет.
В проекте будут использованы теоретические наработки и оборудование многих НИИ и КБ. В частности, зеленоградской компании «ЭСТО», ТНК «Зеленоград», НИЦ «Курчатовский институт», филиала Института прикладной физики РАН в Нижнем Новгороде, Института спектроскопии РАН в Троицке.
Отмечается, что такие литографические сканеры будут в несколько раз дешевле тех, что используют излучение с длиной волны 193 нм (глубокий ультрафиолет). А они в свою очередь в несколько раз дешевле наиболее современных, использующих жёсткий ультрафиолет.
И это не учитывая, что скорость работы у безмасочных многолучевых сканеров будет в несколько раз выше. Подробнее о технологии и устройстве мы писали здесь.
Если российские учёные успешно завершат разработку, то голландскую компанию ждет бесславный конец.